2023-10-30
杭州赛博力学环境试验有限公司近期新增1套内表面测量系统。该测量系统是一种非接触式光学测量系统，可对管件、气缸体等的内部进行微米级的三维测量。其小直径侧视探头可深入被测件内部进行扫描，以获得完整的内部几何形状。
该系统可以测量内部的尺寸细节，包括咬边、倒角、螺纹、膛线、密封圈凹槽、花键等，可以根据用户需求自行配置测量任务并进行自动检测，可以测量尺寸或表面缺陷，如孔隙、裂纹和划痕，可以测量半透明涂层的尺寸、粗糙度和厚度。
内表面测量系统包含：
（1）低相干干涉仪：为测量提供光学和电子处理，并控制所有系统组件的相互作用，包含光源；
（2）三轴综合位移台，其中包括：①运动控制单元：控制移动探针和旋转被测件（样品）的电机；②竖直位移台及探针组件（Z轴）：上下移动探针；③焦距调节机构（S轴）：调节探针焦距；④卡盘及转台（R轴）：夹持并旋转被测件；
（3）探头：发射红外探测光及用于定位和观察的可见光；
（4）工作站（PC）：可以在其上存储、显示、处理及分析扫描的点云数据。
内表面测量系统具有以下优点：
（1）测量精度高、测量速度快；
（2）灵活便捷的被测件评估：可以将测量的结果与 CAD 图纸或用户定义的形位公差进行直观比较；
（3）简单的扫描定义和执行：可以根据用户需求自行配置测量任务并进行可重复的自动检测；
（4）专业检测报告：完成测量后可根据测量结果，可按照相关标准出具专业检测报告；
（5）适应恶劣环境；
（6）光学探头不与被测样品接触，因此不会像接触式探头那样磨损，以减少意外损坏，探头坚固耐用。
主要技术指标如下：
1) 直径测量范围：20-120 mm；
2) 高度测量范围：1-500 mm；
3) 重复性：小于2 μm；
4) 最大采样率：100 kHz；
5) 轴向分辨率（Z轴）：小于0.5 μm；
6) 横向分辨率（X轴）：小于1 μm；
